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製品

成膜／検査・測定／表面処理

高周波計測器　RF計測器 / チャンバー内のRFを高精度に測定が可能

製造：Impedans / アイルランド

Octiv Suiteは、RFの以下のパラメータを測定可能です。

・電圧
・電流
・フェーズ
・ハーモニクス
・インピーダンス
・イオンフラックス
・Waveform reconstruction

・１％の精度で測定が可能。
・1μsの時間分解能で測定が可能
・単周波数のみでなく、複数の周波数が測定可能（Ocye Poly Octiv Suite）
・イオンフラックスが測定可能　（Octiv Suite）

メーカーサイトカタログPDF

インストール方法

Octiv計測可能パラメータ比較リスト

Octiv 製品ラインナップ

Octiv Mono

Octiv Monoは、RFの以下のパラメータを測定可能です。

・リアルパワー
・フォワードパワー
・リフレクトパワー
・インピーダンス

Octiv VI

Octiv VIは、RFの以下のパラメータを測定可能です。

・電圧
・電流
・フェーズ
・ハーモニクス
・インピーダンス

Octiv Poly

Octiv Polyは、RFの以下のパラメータを測定可能です。

・電圧
・電流
・フェーズ
・ハーモニクス
・インピーダンス

Octiv Suite

Octiv Suiteは、RFの以下のパラメータを測定可能です。

・電圧
・電流
・フェーズ
・ハーモニクス
・インピーダンス
・イオンフラックス
・Waveform reconstruction

Octiv Suite 測定データサンプル

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