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成膜／表面処理

プラズマ発光モニター(PEM) / 発光分光分析装置(OES)

製造：NOVA FABRICA LTD

■プラズマ発光モニター（PEM）
クローズドループ制御により次のプロセスコントロールが
できます。
〇高速高精度で反応性ガス流量の制御
〇複数の膜の高速スパッタ成膜
〇ドーピングコントロール

■発光分光分析装置（OES）
リアルタイムで以下を含むプラズマの特性
をプロセスへ影響なく分析できます。
〇プラズマプロセスの特性
　電子温度(Te)、電子密度(Ne)、EEDF、EEPF
〇プラズマプロセス診断、トラブルシューティング"

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製品の特長

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　〇原子と分子の豊富なデーターベースを完備
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　〇プロセスの再現性と長期安定性
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　〇自動校正システムのチェック
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　〇大きくプロセスを改善
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　〇歩留まり向上とダウンタイム削減
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　〇取付が容易で他機器との統合が可能
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　〇頑丈なデザインでコンパクト
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　〇低コスト

製品の適用例

■プラズマ発光モニター（PEM)
１つ又は、複数のプラズマ発光を検知しマスフローコントローラーやプラズマプロセス電源等を正確に高速に制御します。

■発光分光分析装置（OES)
1つ又は、複数のプラズマ発光を検知し、0.15～0.5nmの光学分解で測定。
温度制御、波長校正、放射校正し正確で再現性のあるプラズマ特性評価、プラズマ発光モニター
プロセスの開発、最適化、制御、品質保証ができます。

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